微小氣體(ti)流量計FS4001
産品簡(jiǎn)介:
FS4001
系(xì)列小流量(liàng)氣體質量(liang)流量傳感(gǎn)器是廣州(zhou)迪川儀器(qi)儀表有限(xian)公司專門(mén)爲各類小(xiǎo)流量氣體(ti)的測量和(hé)過程控制(zhi)而💔設計的(de)。這👈一系列(lie)傳感器均(jun1)采用本❄️公(gōng)司自主研(yán)發的微機(ji)電系統(
MEMS
)流量傳(chuan)感芯片來(lái)制作,适用(yong)于各類清(qing)潔氣體。*的(de)封裝技術(shù)使之可用(yong)于各類管(guan)徑,成本低(di)、易安裝、不(bú)需🔅要溫度(du)壓力補償(cháng),可替代容(rong)積式或壓(ya)差式的傳(chuán)統流量傳(chuan)👈感器。
微小(xiǎo)氣體流量(liang)計FS4001
産(chan)品特點:
-
傳感器(qì)靈敏度高(gao)
,
有極(jí)小的始動(dong)流量
-
傳感器芯(xīn)片采用熱(rè)質量流量(liang)計量
,
無需溫度(du)壓力補償(cháng)
,
保證(zheng)了傳
-
感器的高(gāo)精度計量(liàng)
-
在單(dān)個芯片上(shàng)實現了多(duo)傳感器集(jí)成
,
使(shi)傳感器的(de)量程比大(da)大提高
-
傳感器(qì)的零點穩(wen)定度高
-
全量程(chéng)高穩定性(xìng)
-
全量(liàng)程高精度(dù)和優良的(de)重複性
-
低功耗(hào)
-
低壓(yā)損
-
響(xiang)應時間快(kuai)
主要參數(shù):
FS4001系列微小(xiǎo)流量計
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性能參(can)數
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FS4001
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單(dān)位
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通(tong)
徑
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1.0
|
1.8
|
mm
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大流量(liang)
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30, 100, 200
|
500, 1000
|
SLPM
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量程(cheng)比
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2132132132131231312100:1
|
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精(jīng)
度
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±(1.5+0.2FS)
|
%
|
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重複性(xing)
|
0.25
|
%
讀數(shù)
|
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零點(dian)輸出飄移(yi)
|
±30
|
mV
|
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輸出(chū)飄移
|
±0.12
|
%/oC
|
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響應時間(jian)
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4, 8, 16, 33 , 65 , 131
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mses
|
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工作(zuò)電源
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8~18Vdc,50mA
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輸出方式(shì)
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線性(xìng),
RS232/
模拟(ni)電壓
0.5~4.5Vdc
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大流量壓(ya)損
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350
|
300
|
pa
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大(da)工作壓力(li)
|
0.5
|
MPa
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工作(zuo)溫度
|
-10 ~ +55
|
oC
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存儲溫度(du)
|
-20 ~ +65
|
oC
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工作(zuò)濕度
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<95%RH
(無結冰、無(wú)凝露)
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機械接口(kǒu)
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可拆(chāi)式軟管接(jiē)頭
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校(xiao)準方式
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空氣(或(huò)其他氣體(tǐ)),
20oC
,
101.325kPa
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重量
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15
|
g
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FS4001系列(lie)微小流量(liang)計訂(dìng)貨詳情請(qing):
85628522