産(chan)品簡介(jie)：
FS4001系列小(xiao)流量氣(qì)體質量(liang)流量傳(chuán)感器是(shì)專門爲(wei)各類小(xiao)流💯量氣(qi)體🛀🏻的測(cè)量和過(guo)程控制(zhì)而設計(ji)的。這一(yī)系列傳(chuan)感器🏃🏻♂️均(jun1)采✉️用本(ben)公司自(zì)主研發(fa)的微機(jī)電系統(tong)（MEMS）流量傳(chuán)感芯片(pian)來制作(zuò)，适用于(yú)🔆各類清(qing)潔氣體(tǐ)。*的封裝(zhuang)技術使(shǐ)之可用(yòng)于各類(lèi)管徑，成(cheng)本低、易(yì)安裝、不(bu)需要溫(wen)度壓力(li)🚩補償，可(ke)替代容(róng)積式或(huò)壓差式(shi)的傳統(tong)流量傳(chuan)感器💯。
氣(qì)體檢測(cè)/測漏流(liú)量計産(chan)品特點(diǎn)：
- 傳感器(qi)靈敏度(dù)高,有極(jí)小的始(shi)動流量(liàng)
- 傳感器(qì)芯片采(cai)用熱質(zhi)量流量(liàng)計量,無(wú)需溫度(du)壓力補(bu)償,保證(zhèng)了😄傳
- 感(gan)器的高(gao)精度計(jì)量
- 在單(dān)個芯片(pian)上實現(xiàn)了多傳(chuan)感器集(jí)成,使傳(chuán)感器的(de)量程㊙️比(bi)大大💃提(ti)高
- 傳感(gan)器的零(ling)點穩定(dìng)度高
- 全(quán)量程高(gāo)穩定性(xing)
- 全量程(chéng)高精确(que)度和優(you)良的重(zhong)複性
- 低(di)功耗
- 低(dī)壓損
- 響(xiang)應時間(jiān)快
主要(yào)參數：
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性(xing)能參數(shù) |
單位 |
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通(tong) 徑 |
1.0 |
1.8 |
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zui大流(liú)量 |
30, 100, 200 |
500, 1000 |
SLPM |
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量程(cheng)比 |
2132132132131231312100:1 |
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精 度(du) |
±（1.5+0.2FS） |
% |
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重複性(xing) |
0.25 |
%讀數 |
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零(ling)點輸出(chū)飄移 |
±30 |
mV |
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輸(shū)出飄移(yi) |
±0.12 |
%/oC |
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響應時(shí)間 |
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
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工作(zuò)電源 |
8~18Vdc,50mA |
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輸(shu)出方式(shi) |
線性，RS232/模(mo)拟電壓(yā)0.5~4.5Vdc |
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zui大流量(liang)壓損 |
350 |
300 |
pa |
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zui大(dà)工作壓(ya)力 |
0.5 |
MPa |
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工作(zuò)溫度 |
-10 ~ +55 |
oC |
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存(cún)儲溫度(du) |
-20 ~ +65 |
oC |
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工作濕(shi)度 |
<95%RH（無結(jié)冰、無凝(ning)露） |
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機械(xiè)接口 |
可(kě)拆式軟(ruǎn)管接頭(tóu) |
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校準方(fang)式 |
空氣(qì)（或其他(tā)氣體），20oC，101.325kPa |
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重(zhong)量 |
15 |
g |
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