産品(pǐn)時間：2025-12-24
FS4001系(xì)列小流量氣體質(zhì)量流量傳感器是(shì)專門爲各類小流(liú)量氣體的測量和(he)過程控制而設計(jì)的。這一系列傳感(gǎn)器♍均采用本公司(sī)自主研發的微機(ji)電系統（MEMS）流量傳感(gǎn)芯片來制作🏒，适用(yòng)于各類清潔氣體(ti)。*的封裝技術使之(zhi)可用于各類管徑(jìng)，成本低、易安裝、不(bu)需要溫度壓力補(bǔ)償，可替代容積式(shì)或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器。
産品簡介(jiè)：
FS4001系列小流量氣體(ti)質量流量傳感器(qì) 是專門爲各類小(xiǎo)流量氣體的測量(liàng)和過程控制而設(shè)計的🈲。這🏃♂️一系列傳(chuan)感器均采用本公(gong)司自主研發的微(wei)🥵機電系統（MEMS）流量傳(chuan)感芯片來制作，适(shì)用于各類清潔氣(qi)體。*的封裝技術使(shi)之可用于各類管(guan)徑，成本低、易安裝(zhuāng)、不需要溫度壓力(li)補償，可替代容積(ji)式或壓差式的傳(chuan)統流量傳感器。
：
FS4001系列(liè)小流量氣體質量(liàng)流量傳感器
靈敏(min)度高,有小的始動(dong)流量傳感器芯片(piàn)采用熱質量流🧡量(liang)計📧量,無需溫度壓(ya)力補償,保證了傳(chuán)感器的高精度計(jì)量在單個芯片上(shang)實現了多傳感器(qì)集成,使傳感器的(de)量程比大大提高(gao)傳感器♍的零點穩(wěn)定💋度高全量程高(gāo)穩定性全量程高(gāo)精确度❓和優良的(de)🆚重複性低功✨耗低(dī)壓損響應時間快(kuài)
主要參數：
|
性能參(cān)數 |
FS4001 |
單位 |
|
|
|
1.0 |
|
|
|
大流(liu)量 |
30, 100, 200 |
500, 1000 |
SCCM |
|
量程比 |
|
||
|
精 度 |
±(1.5+0.2FS) |
% |
|
|
|
0.25 |
%讀數 |
|
|
零點輸(shū)出飄移 |
|
mV |
|
|
輸出飄移(yí) |
±0.12 |
%/oC |
|
|
響應時間 |
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
300 |
pa |
|
|
0.5 |
MPa |
|
|
工作溫度 |
|
oC |
|
|
-20 ~ +65 |
|
||
|
|
|
||
|
機械接(jie)口 |
可拆式軟管接(jie)頭 |
|
|
|
|
空氣(qì)（或其他氣體），20oC，101.325kPa |
|
|
|
重量(liàng) |
|
|
|
86-020-85628533
•·
›
•