氣體流量監測傳(chuan)感器

産品(pǐn)簡介：

FS4001系列 氣體流(liu)量監測傳感器 是專門爲各類(lei)小流量氣體的測(cè)量和過程控制而(er)設計的。這一系列(lie)傳感器均采用本(běn)公司自主研發的(de)微機電🐆系統（ MEMS ）流量傳感芯片來(lái)制作。

FS4001系列 氣體流(liú)量監測傳感器 适用于各類清(qīng)潔氣體。*的封裝技(ji)術使之可用于各(gè)類管徑📞，成本低、易(yì)安裝、不需要溫度(du)壓力補償，可替代(dai)容🚶‍♀️積式或壓差式(shi)的傳統流量傳感(gǎn)器。

産品(pin)特點：
  - 傳感器(qì)靈敏度高 , 有(you)極小的始動流量(liang)
  - 傳感器芯片(pian)采用熱質量流量(liang)計量 , 無需溫(wēn)度壓力補償 , 保證了傳
  - 感(gǎn)器的高精度計量(liang)
  - 在單個芯片(piàn)上實現了多傳感(gan)器集成 , 使傳(chuán)感器的量程比大(da)大提高
  - 傳感(gǎn)器的零點穩定度(dù)高
  - 全量程高(gao)穩定性
  - 全量(liang)程高精确度和優(yōu)良的重複性
  - 低功耗
  - 低壓(ya)損
  - 響應時間(jian)快

機械尺寸(cun)：

主要參(cān)數：

性能參數	FS4001		單位(wèi)
通 徑	1.0	1.8	mm
大流量	30, 100, 200	500, 1000	SLPM
量程(chéng)比	>100：1
精 度	±(1.5+0.2FS)		%
重複性	0.25		%讀(du)數
零點輸出飄移(yi)	±30		mV
輸出飄移	±0.12		%/oC
響應時(shí)間	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工作電源	8~18Vdc,50mA
輸出(chu)方式	線性，RS232/模拟電(dian)壓0.5~4.5Vdc
大流量壓損	350	300	pa
大(da)工作壓力	0.5		MPa
工作溫(wen)度	-10 ~ +55		oC
存儲溫度	-20 ~ +65		oC
工作(zuò)濕度	<95%RH（無結冰、無凝(ning)露）
機械接口	可拆(chai)式軟管接頭
校準(zhun)方式	空氣（或其他(ta)氣體），20oC，101.325kPa
重量	15		g