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mf4001廣東(dong)微小口徑(jìng)氣體質量(liàng)流量計

産(chan)品時間：2025-12-24

簡(jiǎn)要描述：

mf4001廣(guǎng)東微小口(kou)徑氣體質(zhi)量流量計(jì)是專門爲(wèi)各類小流(liú)量氣體的(de)測量和過(guò)程控制而(er)設計的。這(zhe)一系列傳(chuan)感器均🌏采(cǎi)用本公司(si)自主研發(fa)的微機電(dian)系統（MEMS）流量(liàng)傳感芯片(pian)來制作，适(shi)🐕用于各⛱️類(lèi)清潔氣體(tǐ)。*的封裝技(ji)術使之可(kě)用于各類(lei)管徑，成本(běn)低、易安裝(zhuang)、不需要溫(wen)度壓力補(bǔ)償，可替代(dài)容積式或(huò)壓差👨‍❤️‍👨式的(de)傳統流量(liang)傳感器。

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詳(xiang)細介紹

mf4001廣(guǎng)東微小口(kǒu)徑氣體質(zhi)量流量計(ji) 産品(pǐn)特點：
- 傳感器靈(líng)敏度高 , 有極小(xiǎo)的始動流(liú)量
- 傳(chuan)感器芯片(pian)采用熱質(zhì)量流量計(ji)量 , 無(wú)需溫度壓(yā)力補償 , 保證了(le)傳
- 感(gan)器的高精(jing)度計量
- 在單個(ge)芯片上實(shi)現了多傳(chuán)感器集成(chéng) , 使傳(chuan)感器的量(liàng)程比大大(dà)提高
- 傳感器的(de)零點穩定(ding)度高
- 全量程高(gāo)穩定性
- 全量程(chéng)高精确度(du)和優良的(de)重複性
- 低功耗(hào)
- 低壓(yā)損
- 響(xiǎng)應時間快(kuài)

mf4001廣東微小(xiao)口徑氣體(tǐ)質量流量(liàng)計 機(ji)械尺寸：

主(zhu)要參數：

性(xing)能參數	FS4001		單(dān)位
通徑	1.0	1.8	mm
大(dà)流量	30, 100, 200	500, 1000	SLPM
量程(chéng)比	>100：1
精度	±(1.5+0.2FS)		%
重(zhòng)複性	0.25		%讀數(shu)
零點輸出(chū)飄移	±30		mV
輸出(chu)飄移	±0.12		%/oC
響應(ying)時間	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工作(zuo)電源	8~18Vdc,50mA
輸出(chu)方式	線性(xing)，RS232/模拟電壓(ya)0.5~4.5Vdc
大流量壓(yā)損	350	300	pa
大工作(zuo)壓力	0.5		MPa
工作(zuo)溫度	-10 ~ +55		oC
存儲(chǔ)溫度	-20 ~ +65		oC
工作(zuo)濕度	<95%RH（無結(jié)冰、無凝露(lù)）
機械接口(kǒu)	可拆式軟(ruǎn)管接頭
校(xiào)準方式	空(kong)氣（或其他(tā)氣體），20oC，101.325kPa
重量(liang)	15		g

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